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日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵技術(shù)參數(shù)

發(fā)布時(shí)間： 2015-12-29　　點(diǎn)擊次數(shù)： 1132次

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 一、特性

 

• 雙繞式渦旋泵，含1 根軌道螺旋和2 根固定螺旋。

• 可在大氣壓下實(shí)現(xiàn)操作運(yùn)行。

• 可實(shí)現(xiàn)高極限真空。

• 低振動(dòng)低噪音。

• 維護(hù)周期可通過(guò)計(jì)時(shí)表控制。

 

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 二、應(yīng)用

 

• 分析設(shè)備

• 氣體回收系統(tǒng)

• 涂料設(shè)備

• TMP 前級(jí)泵

• 氦滲漏探測(cè)器

• 半導(dǎo)體制造工藝

 

日本ULVAC DIS-501渦旋干式真空泵 三、規(guī)格參數(shù)

 

 

單位

50Hz

60Hz

實(shí)際抽速

L/min

500

600

極限壓力

Pa

1.0

馬達(dá)

單相

 

100/115/200/230V, 600W, 4P, 電容啟動(dòng)運(yùn)行

 

三相

 

200/208/230/380/400/415/460V, 600W, 4P

滿載電流

單相

A

8.5/4.3/3.9
(100/200/230V)

2.7/1.57/1.57/1.63
(200/380/400/415V)

 

三相

 

10.0/8.6/4.8/4.0
(100/115/200/230V)

2.8/2.5/2.5/1.47
(200/208/230/460V)

重量

單相

kg

44.0

 

三相

 

38.0

進(jìn)出氣管道直徑

 

進(jìn)氣管KF-40　出氣管 KF-25

環(huán)境溫度

°C

5 – 40

水蒸氣處理

g/天

≤25 (A.F. 開(kāi)啟)

尺寸

單相

mm

290(W) × 443(L) × 397(H)

 

三相

 

290(W) × 372(L) × 397(H)

 

 

四、外形圖

 

 

五、泵數(shù)曲線

 

六、對(duì)應(yīng)電壓與認(rèn)證

 

電壓

現(xiàn)行電壓

CE 認(rèn)證

CSA 認(rèn)證

單相, 100V, 200V, 230V
115V (60Hz)

標(biāo)準(zhǔn)

 ●

●

三相, 200, 380V, 400V, 415V (50Hz) 
200V, 208V, 230V, 460V (60Hz)

標(biāo)準(zhǔn)

      ●

      ●

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