特性
ULVAC機(jī)工的GCD系列直聯(lián)型油旋片式真空泵,具有耐腐蝕性,可用于對有毒氣體和腐蝕性氣體的排氣,適用于化學(xué),半導(dǎo)體和生化行業(yè)。共有三種機(jī)型,排氣范圍在50L/min.至200L/min.之間。
使用指導(dǎo)
1.GCD系列真空泵請使用合成泵油(SOM)。
2.對任何有毒或腐蝕性氣體排氣前請咨詢當(dāng)?shù)劁N售商。
3.油旋片真空泵并不適用于在大氣壓附近連續(xù)運(yùn)轉(zhuǎn)。
應(yīng)用
1.半導(dǎo)體業(yè)界
2.化學(xué)業(yè)界
3.化學(xué)處理后干燥
4.生化業(yè)界
5.防污染耐酸性處理
型 號 | 實際排氣速度(L/min.) | 極限壓力 (Pa) | 吸氣管徑 (mm) | 重量 (kg) | 外形尺寸 W×L×H(mm) | 電機(jī) | |
功率(W) | 可選電壓(V) | ||||||
※ GCD-051X | 50/60 (50/60Hz) | 6.7×10-2(氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉) 6.7(氣鎮(zhèn)閥打開) | KF-25 | 14.1 | 165.5×423×222.7 | 200 | 單相 100.115.200.220.230 |
GCD-136X | 135/162 (50/60Hz) | 6.7×10-2(氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉) 6.7(氣鎮(zhèn)閥打開) | KF-25 | 25.4 | 170×493×241.1 | 400 | ※ 單相100-120.200-240 三相200-240.380-460 |
GCD-201X | 200/240 (50/60Hz) | 6.7×10-2(氣鎮(zhèn)閥關(guān)閉) 6.7(氣鎮(zhèn)閥打開) | KF-25 | 26.6 | 170×509.5×241.1 | 750 | ※ 單相100-120.200-240 三相200-240.380-460 |